22，000 FFU，ISO级逻辑工厂装修
一个基于代表性新建半导体逻辑工厂FFU装修项目的复合参考案例——提供22，000 EC插头FFU，具有ISO 14644 5级表面速度一致性、ULPA U15滤波器兼容性、EMC级光刻技术，以及14周PO到工厂车间交付，以配合压缩的施工进度。
项目规模:22，000 FFU，ISO级25 MW IT-equivalent fab装修 参考期间:复合参考2024–2025构建模式 地理:亚太逻辑制造分部
关于此案例简介:这是一个
匿名的复合参考案例基于半导体5级洁净室领域代表性的LONGWELL平台部署。它说明了工程挑战、解决方案架构和此类项目中典型的可测量结果。性能数据反映了LONGWELL平台验证的规格加上行业标准的改进增量，而不是具体的客户声明。真实的客户证明资料可在NDA的项目资格(sales2@zjlongwell.com).
1 挑战
- 工厂装修施工时间表:从FFU规格锁定到洁净室调试移交14周。
- ebm-papst RadiPac FFU公司16-22周的交付周期会阻塞洁净室调试的关键路径。
- FFU表面的维O 14644 5级表面速度均匀性在18%以内(洁净室完整性要求)。
- ULPA U15(0.12微米MPPS时为99.9995%)过滤器压力兼容性。
- 阿斯麦·EUV/尼康·DUV光刻工具验收的EMC级传导发射(相对于工具阈值的裕量≥40 dB)。
- 22，000个相同的FFU采购量—晶圆级生产能力。
2 解决方案架构
22，000个FFU模块安装在600×600 mm的天花板网格上，铺设在logic-fab洁净室+子fab回路上。每个FFU包括预装的ULPA U15过滤器、增压环+ EC塞式风扇+扩散器+控制板。ISO级表面速度均匀性在18%以内，在LONGWELL验收时通过皮托管网格测量进行验证。
材料清单
| LONGWELL SKU | 类型 | 数量 | 关键规格 |
| LWBE3G-355-FFU | EC后向弯曲FFU模块 | 22，000单位 | 355毫米，0.45米/秒，18%表面速度均匀性，ULPA U15/U16兼容，EN 55014 EMC B级，50%时53分贝(A)满/ 39分贝(A) |
3个衡量的结果
FFU部署的总人数
22,000
跨越逻辑-fab洁净室
ISO级首次通过认证
是
不需要重新规范
每批货物都经过EMC级认证
100%
via TÜ测试报告
提前期PO →工厂车间
14周
vs 16–22周的循证医学-papst
生产节奏
1700FFU/周
第4周工具锁定后
资本支出增量与EBM-PAPST RADIPAC
−48%
以工厂规模生产
4 实施时间表
| 第0周 | 22，000 FFU的规格锁+主采购订单 |
| 第1-3周 | 工具锁定+第一个1000单位合格批次 |
| 第4周 | 合格批量验收+在工厂进行EMC级验证 |
| 第5-13周 | 产量为1700 FFU/周，每周海运 |
| 第14周 | 洁净室调试移交 |
5 节工程课
- 工厂装修施工进度是约束性因素，而不是ebm-papst品牌认知度。节省4周的车间闲置时间比η delta更有价值。
- 每次装运的EMC级验证(不是一次性类型测试)是采购强制要求的—光刻工具验收测试在FFU银行附近进行。
- 1700 FFU/周的生产节奏要求在余姚+海防工厂之间分配平行生产线。Ebm-papst将与多个半工厂+ DC +暖通空调客户排队。
- ISO级首次通过认证(不需要重新制定规格)节省了大约180万美元的重新测试+延迟调试成本。
- 22，000 FFU的48%资本支出增量=约900万美元的节约，重新用于额外的厂内计量和AMHS升级。
