FFU风机过滤单元

FFU(风机过滤单元)把风机、HEPA/ULPA 滤网和控制板集成在吊顶模块里,直接决定洁净室的截面风速均匀性和能耗。本标签汇总 FFU 用 EC 离心风机的选型依据、滤网阻力与压力裕量匹配、ISO 14644 洁净等级对风速均匀性的要求,以及半导体与制药洁净室的 FFU 部署经验。

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